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時(shí)間: 2014-07-31 點(diǎn)擊:0

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1.微傳感器是指尺寸微小的傳感器,如敏感元件的尺寸從微米級(jí)到毫米級(jí)、甚至達(dá)到納米級(jí),主要采用精密加工、微電子以及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)傳感器尺寸的縮小。
2.微傳感器是指將微小的敏感元件、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
3.微傳感器系統(tǒng)是指?jìng)鞲邢到y(tǒng)中不但包括微傳感器,還包括微執(zhí)行器,可以獨(dú)立工作,甚至由多個(gè)微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò),或者可實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。
微型傳感器