靜磁柵位移傳感器由“靜磁柵源”和“靜磁柵尺”兩部分結(jié)合使用?!办o磁柵源”使用鋁合金壓封無源釹鐵硼磁柵組成磁柵編碼陣列;“靜磁柵尺”用內(nèi)藏嵌入式微處理器系統(tǒng)的特制高強度鋁合金管材封裝,使用開關型霍爾傳感器件組成霍爾編碼陣列,鋁合金管材外部使用防氧化鍍塑處理?!办o磁柵源”沿“靜磁柵尺”軸線作無接觸(相對間隙寬容度和相對姿態(tài)寬容度達50mm)相對運動時,由“靜磁柵尺”解析出數(shù)字化位移信息,直接產(chǎn)生高于毫米數(shù)量級的位移量數(shù)字信號。充分發(fā)掘嵌入式微處理器的資源,將數(shù)據(jù)更新速度提高到毫秒數(shù)量級,以便能適應5m/S以下運動速度的位移響應。
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